同位素分析仪主要由计算机、外置泵和水汽同位素分析系统组成，采用波长扫描光腔衰荡光谱（WS-CRDS）技术，具有高的稳定性、灵敏度和精度，操作简单，可超高精度连续测量液态水和水汽同位素，为科学家提供了一个深入研究水循环（水汽、液态水和固体中的结合水）的有效平台，是海洋学、水文学、植物生理、生命科学、古气候学、大气科学、食品科学、农学、矿井科学等同位素研究的重要工具。
同位素分析仪设备采用中红外激光，通过高精确度传感器进行特定识别，用单一的时间变量进行浓度分析，测量有效路径长。
同位素分析仪的一些实用性设计：
同位素分析仪的测量腔室确保了更准确的温度控制、更快的周转速率、更低的噪音和更高的灵敏度；
为确保仪器在长达数月不断变化的环境条件下获得高准确度和低的漂移。仪器配备的高精度温度和压力控制系统。高稳定性、灵敏度和精度是基于传统的吸收光谱技术和离轴积分腔输出光谱技术（ICOS）分析仪不可比拟的。高精度波长监视器确保了只有特定的吸收光谱可以被测量到，这大大减少了分析仪对干扰气体的灵敏度，从而确保在混合气体中进行痕量测量和同位素的分析。
同位素分析仪紧凑坚固，安装方便快捷，无需样品准备和干燥，可用于恶劣环境下无用户值守长期工作，数据可通过无线装置进行远程传输。能够连接单点或多点土壤呼吸、群落光合测量系统。
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